Die richtigen Schlüssel für die Herausforderungen der Zukunft

Anja Karliczek trifft den Physiker und Mikrochip-Experten Peter Kürz

Die richtigen Schlüssel für die Herausforderungen der Zukunft

Schlüsseltechnologien sind essenziell für die Wettbewerbsfähigkeit. Worauf aber kommt es dabei genau an? Darüber sprach Bundesforschungsministerin Anja Karliczek mit dem Mikrochip-Experten Dr. Peter Kürz, der mit der EUV-Lithographie an einer solchen Schlüsseltechnologie forscht, in Rahmen der Reihe „Karliczek trifft …“ am 15. April 2021.

Peter Kürz ist Leiter des High-NA-EUV-Programms bei der ZEISS-Sparte Semiconductor Manufacturing Technology (SMT) in Oberkochen (Baden-Württemberg). „EUV“ steht für „extrem ultraviolett“, also Licht mit sehr kurzer Wellenlänge. Und mit diesem stellen Maschinen aus Europa die leistungsfähigsten Mikrochips der Welt her. Die niederländische Firma ASML produziert diese Maschinen;  Kürz sowie seine Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter bei ZEISS verantworten das dafür notwendige, hochpräzise Spiegelsystem. Die zweite Schlüsselkomponente sind Hochleistungs-Laser des schwäbischen Werkzeugmaschinenbauers Trumpf. An der Entwicklung beteiligt waren auch Forschungspartner wie das Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik in Jena.

Diese komplizierte Technik ist von entscheidender Bedeutung dafür, die immer größeren Datenmengen zu verdauen. Mit der EUV-Technologie lassen sich aktuell schon rund 12 Milliarden Transistoren auf dem Chip eines Smartphones vereinen. Viele Anwendungen der Informationstechnik und Systeme mit Künstlicher Intelligenz sind darauf angewiesen – ob im Smart Home, der Smart Factory, für lernfähige Roboter und in autonomen Fahrzeugen.

Peter Kürz

Das Bewusstsein dafür, wie wichtig Technologie  ist, das muss stärker werden.“

Dr. rer. nat. Peter KürzLeiter der Entwicklung und der Produkteinführung der nächsten EUV-Generation bei ZEISS

Wie das alles funktioniert, stellte Kürz in einem kurzen Film vor. Die Spiegel etwa, die das UV-Licht reflektieren, sind extrem glatt: Würde man sie auf die Größe Deutschlands ausdehnen, wäre die höchste Unebenheit auf der Fläche gerade 0,1 Millimeter hoch. Ihre Position, führte Kürz fort, sei unglaublich stabil und präzise: Würde man einen Lichtstrahl über sie zum Mond umlenken, könnte man über diese Entfernung (fast 400.000 Kilometer) einen Golfball treffen.

EUV-Experte Kürz und Bundesforschungsministerin Karliczek wissen beide, wie wichtig es ist, junge Menschen für solche Schlüsseltechnologien zu begeistern: Schlicht und einfach, damit sie auch in Zukunft hierzulande produziert werden. Schlüsseltechnologien seien Möglichmacher, die eine Vielzahl weiterer Innovationen nach sich ziehen – für Technologien, die das #innovationsland Deutschland zukunftsfähig und möglichst unabhängig machen. „Wir müssen sichtbarer machen, wie gut Deutschland teilweise schon aufgestellt ist“, sagte Karliczek. „Auch für die jungen Generationen.“

Denn alles technische Know-how und die bestentwickelten Standorte würden letztendlich nicht viel nützen, wenn es an Köpfen fehlt, die mit ihren Ideen aus den Möglichkeiten Innovationen machen. „Die junge Generation besteht aus Menschen, die nicht nur immer so weitermachen wollen wie bisher“, sagte Karliczek. „Menschen, die Freude daran haben, sich in technologischen Feldern weiterzuentwickeln und Freude haben am Wettbewerb.“

Anja Karliczek

Eigene Kompetenz bei Schlüsseltechnologien ist entscheidend dafür, dass wir unsere technische Souveränität behalten. Nur so werden wir in der Lage sein, unser Wertegerüst zu gewährleisten."

Anja Karliczek, MdBBundesministerin für Bildung und Forschung

Genau so einer ist auch Peter Kürz. Ebenso Prof. Dr. Katja Windt, die sich später in das Gespräch per Video einklinkte.  Seit 2018 ist sie Mitglied der Geschäftsführung der SMS Group in Düsseldorf, einem der größten Anlagenbauer in der Metallindustrie. Auch dort seien Schlüsseltechnologien entscheidend, sagte sie – insbesondere, wenn es darum ginge, den hohen Anteil der Stahlindustrie an den CO2-Emissionen drastisch zu senken.

Solch enormen Herausforderungen könne man nur begegnen, wenn man mit starken Partnern ein dichtes Netzwerk aufbauen kann – darin waren sich alle Gesprächspartner einig. In Deutschland habe sich das Klischee vom einsamen Tüftler in der Garage mit den genialen Ideen lang gehalten, sagte die Ministerin. Jetzt gehe es aber immer mehr darum, Wissen und Können zu teilen.

Katja WIndt

Wir müssen schon in der Ausbildung Begeisterung für neue Perspektiven schaffen"

Prof. Dr.-Ing. Katja WindtMitglied der Geschäftsführung der SMS group GmbH

Genau das sei bei der UV-Technologie der Fall gewesen, so Peter Kürz. Seit 20 Jahren würde die Technik entwickelt, auch in Zusammenarbeit mit dem BMBF: „Jetzt ernten wir die Früchte – der lange Atem hat sich ausgezahlt!“ Für Katja Windt Grund genug, an die Politik zu appellieren, auch künftig günstige Bedingungen für die Unternehmen zu schaffen, um an Schlüsseltechnologien zu arbeiten: „Bevor die neue Technik da ist, wird sie erst einmal immer teurer. Aber sie eröffnet Perspektiven für die ganze Gesellschaft.“

Aufzeichnung der Veranstaltung